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半導體設備廠美商科磊(KLA Tencor)預期，隨著光學檢測技術提升，電子束檢測設備需求恐將趨緩。電子束檢測設備廠漢微科持不同看法，表示市場成長空間仍大。

科磊位於台灣新竹的新訓練中心開幕，就近爭取台積電與聯電等晶圓代工廠訂單。

科磊總裁暨執行長華勒斯(Rick Wallace)表示，光學檢測設備仍將是半導體缺陷檢測設備市場主流，並預期隨著光學檢測技術提升，電子束檢測設備需求恐將趨緩。

漢微科指出，光學檢測設備確實是半導體缺陷檢測設備市場主流，不過，隨著半導體製程技術不斷推進，線寬持續微縮，電子束檢測設備因具解析度高特色，未來市場需求成長空間仍大。

漢微科表示，目前電子束檢測設備與光學檢測設備實際具互補功效，晶圓廠客戶因了解電子束檢測設備時間長的情況，並不會用於大區域檢測，主要用於關鍵點檢測。

隨著新產品效應逐步發酵，漢微科第 2季營運可望顯著成長，將季增 5成水準。

漢微科今天不受科磊唱衰影響，股價表現平穩，盤中一度達新台幣1300元，上漲30元，漲幅約2.36%。

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